Robot arm (16) end effectors,(10, 110, 210) rapidly and cleanly transfer semiconductor wafers (12) between a wafer cassette (14) and a processing station. The end effectors include fiber optic light transmission sensors (90, 102, 202, 214) for determining various wafer surface, edge, thickness, tilt, and location parameters. The sensors provide robot arm extension and elevation positioning data supporting methods of rapidly and accurately placing and retrieving a wafer from among a stack of closely spaced wafers stored in the wafer cassette. The methods effectively prevent accidental contact between the end effector and the wafers while effecting clean, secure gripping of the wafer.

Effectors di conclusione del braccio del robot (16), (10, 110, 210) velocemente e cialde pulite a semiconduttore di trasferimento (12) fra un vassoio della cialda (14) e una stazione d'elaborazione. I effectors di conclusione includono i sensori ottici della trasmissione della luce della fibra (90, 102, 202, 214) per la determinazione la superficie della cialda, il bordo, lo spessore, l'inclinazione e dei parametri di posizione vari. I sensori forniscono l'estensione e l'altezza del braccio del robot che posizionano i metodi di sostegno di dati di velocemente ed esattamente disponendo e richiamando una cialda in da una pila di cialde molto attentamente spaziate immagazzinate nel vassoio della cialda. I metodi impediscono efficacemente il contatto accidentale fra l'estremità effector e le cialde mentre effettuano la presa pulita e sicura della cialda.