Methods and apparatus for performing surface modeling of a substrate for the purpose of characterizing the substrate, which includes initially dividing said substrate surface into a plurality of local partitions and thereafter forming divisions from said plurality of local partitions. The technique includes positioning a first component at a first location on said substrate surface, thereby creating additional divisions within one of said plurality of local partitions. The method further includes promoting said one of said plurality of local partitions to a global partition and forming local partitions within said one of said plurality of local partitions if a number of divisions within said one of said plurality of local partitions exceeds a predefined value.

Методы и прибор для выполнять моделирование поверхности субстрата for the purpose of характеризовать субстрат, который вклюает первоначально разделять сказанную поверхность субстрата в множественность местных перегородок и в дальнейшем формировать разделения от сказанной множественности местных перегородок. Метод вклюает располагать первый компонент на первое положение на сказанную поверхность субстрата, таким образом создавая дополнительные разделения не познее одна из сказанной множественности местных перегородок. Метод более дальнейший вклюает повышать сказанное одну из сказанной множественности местных перегородок к гловальной перегородке и формировать местные перегородки в пределах сказанное одной из сказанной множественности местных перегородок если несколько разделения в пределах сказанное одной из сказанной множественности местных перегородок превышают предопределенное значение.