A manufacturing method of monolithic integrated thermal bubble inkjet print heads and the structure for the same. The method utilizes semiconductor manufacturing technologies to configure various elements in a thermal bubble inkjet print head, such as ink channels, an ink slot, an energy transducer, an orifice plate, on a single substrate. The ink channels are formed on an top surface of the substrate using the anisotropic etching technique. The ink slot is formed on a back surface of the substrate using the anisotropic etching technique. The energy transducer and the orifice plate are formed in order above the ink channels using the coating and etching techniques. This thermal bubble inkjet print head manufacturing method is particularly useful in the all batch process without employing the steps of precision alignment joint for the orifice plate in a conventional inkjet print head. Therefore, the method can greatly increase production efficiency and lower production costs.

Une méthode de fabrication des têtes d'impression thermiques intégrées monolithiques de jet d'encre de bulle et de la structure pour la même chose. La méthode utilise des technologies de fabrication de semi-conducteur pour configurer de divers éléments dans une tête d'impression thermique de jet d'encre de bulle, telle que des canaux d'encre, une fente d'encre, un capteur d'énergie, un plat d'orifice, sur un substrat simple. Les canaux d'encre sont formés sur une surface supérieure du substrat en utilisant la technique anisotrope gravure à l'eau-forte. La fente d'encre est formée sur une surface arrière du substrat en utilisant la technique anisotrope gravure à l'eau-forte. Le capteur d'énergie et le plat d'orifice sont formés dans l'ordre au-dessus des canaux d'encre en utilisant les techniques d'enduit et gravure à l'eau-forte. Cette méthode de fabrication thermique de tête d'impression de jet d'encre de bulle est particulièrement utile dans le tout le traitement par lots sans utiliser les étapes du joint d'alignement de précision pour le plat d'orifice dans une tête d'impression conventionnelle de jet d'encre. Par conséquent, la méthode peut considérablement augmenter l'efficacité de production et abaisser des coûts de production.