To provide a substrate transport device and a transport teaching system which can automatically perform a teaching processing in order to reduce the burden of an operator and to eliminate a positional shift accurately and efficiently in a short time. Optical connectors 251, 252, 253 and 254 of a jig 200 and optical connectors 256, 257, 258 and 259 fixedly provided on a substrate transport device are opposed to each other and optical axes are coincident with each other. A lens having a high condensation ratio is provided in each optical connector. A light signal is output from optical sensor heads 231 and 241 through an optical fiber F2, each optical connector and an optical fiber F1, and a light signal input to optical sensor heads 232 and 242 is guided into the substrate transport device. Then, an arm 31b is automatically moved in a three-axis direction. Thus, an edge position of a detected portion 122 is detected to acquire positional information so that teaching information is obtained.

Om een apparaat van het substraatvervoer en een systeem van het vervoeronderwijs te verstrekken dat een het onderwijsverwerking kunnen automatisch uitvoeren om de last van een exploitant te verminderen en een positionele verschuiving nauwkeurig en efficiënt in een korte tijd te elimineren. Optische schakelaars 251..252..253 en 254 van een kaliber 200 en optische schakelaars 256..257..258 en 259 vast verstrekt op een apparaat van het substraatvervoer zijn tegengesteld aan elkaar en de optische assen zijn samenvallend met elkaar. Een lens die een hoge condensatieverhouding heeft wordt verstrekt in elke optische schakelaar. Een licht signaal is output van optische sensorhoofden 231 en 241 door een optische vezel F2, elke optische schakelaar en een optische vezel F1, en een lichte signaalinput aan optische sensor leidt 232 en 242 worden geleid in het apparaat van het substraatvervoer. Dan, wordt een wapen 31b automatisch bewogen in een three-axis richting. Aldus, wordt een randpositie van een ontdekt gedeelte 122 ontdekt om positionele informatie te verwerven zodat de het onderwijsinformatie wordt verkregen.