An improved anode, cup and conductor assembly for a reactor vessel includes an anode assembly supported within a cup which holds a supply of process fluid. The cup is supported around its perimeter within the reactor vessel. The anode assembly has an anode shield carrying an anode, the anode shield having upwardly extending brackets with radially extending members. A diffusion plate is supported above the anode by the anode brackets using first bayonet connections. The anode shield and the anode are supported from below by a delivery tube which also serves to deliver process fluid to the cup. A second bayonet connection is provided between a top portion of the delivery tube and the anode assembly. The fluid delivery tube has a fixed height within the vessel. The anode elevation is adjusted by the interposing of a spacer of desired thickness between the anode and the tube. An electrical conductor is connected to the anode, and passes through the tube to be electrically accessible outside the vessel. The conductor is connected to the anode with a plug-in connection which is completed when the tube is coupled to the anode by the second bayonet connection. A spring loaded bellows seal and a corrugated sleeve seal the electrical conductor from the anode, through the delivery tube, and to the outside electrical accessibility. The diffusion plate and the anode assembly are installable and removable from a top side of the reactor vessel using a tool which is lockable to the diffusion plate or to the anode. The tool provides a handle for manual engagement or disengagement of the first and second bayonet connections.

Ein verbesserter Anode, Schale und Leiter für einen Reaktorbehälter schließt eine Anode ein, die innerhalb einer Schale gestützt wird, die ein Versorgungsmaterial Prozeßflüssigkeit hält. Die Schale wird um seinen Umkreis innerhalb des Reaktorbehälters gestützt. Die Anode hat ein Anode Schild, eine Anode, das Anode Schild zu tragen, das aufwärts verlängernde Haltewinkel mit radial verlängernden Mitgliedern hat. Eine Diffusion (Zerstäubung) Platte wird über die Anode durch die Anode Haltewinkel mit ersten Bajonettanschlüssen gestützt. Das Anode Schild und die Anode werden von unterhalb vorbei eines Anlieferung Schlauches gestützt, der auch dient, Prozeßflüssigkeit an die Schale zu liefern. Ein zweiter Bajonettanschluß wird zwischen einem oberen Teil des Anlieferung Schlauches und der Anode zur Verfügung gestellt. Der flüssige Anlieferung Schlauch hat eine örtlich festgelegte Höhe innerhalb des Behälters. Der Anode Aufzug wird durch das Vermitteln einer Distanzscheibe der gewünschten Stärke zwischen der Anode und dem Schlauch justiert. Ein elektrischer Leiter wird an die Anode angeschlossen, und überschreitet durch den Schlauch, um außerhalb des Behälters zugänglich elektrisch zu sein. Der Leiter wird an die Anode mit einem Einsteckanschluß angeschlossen, der durchgeführt wird, wenn der Schlauch zur Anode durch den zweiten Bajonettanschluß verbunden wird. Eine federgelagerte Balgdichtung und eine gewölbte Hülse versiegeln den elektrischen Leiter von der Anode, durch den Anlieferung Schlauch und zur Außenseite elektrischen Zugänglichkeit. Die Diffusion (Zerstäubung) Platte und die Anode sind installierbar und von einer oberen Seite des Reaktorbehälters mit einem Werkzeug entfernbar, das zur Diffusion (Zerstäubung) Platte oder zur Anode verschließbar ist. Das Werkzeug stellt einen Handgriff für manuelle Verpflichtung oder Befreiung der ersten und zweiten Bajonettanschlüsse zur Verfügung.

 
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< Cleaning apparatus

< Systems and methods for processing workpieces

> Reactor vessel having improved cup, anode and conductor assembly

> Apparatus and method for electrochemical processing of a microelectronic workpiece, capable of modifying processing based on metrology

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