A multi-cavity micro-optical Fabry-Perot filter uses electrostatically deflected MEMS membranes. The filter comprises a first electrostatically deflectable membrane device. A curved mirror structure is formed on its optical membrane. Similarly, a second electro-statically deflectable membrane device is provided, which has a second curved mirror structure on the membrane. The spacer is used to separate the first membrane device from the second membrane device. The spacer supports a mirror between the first and second curved mirror structures. Wafer-level and device level assembly techniques are also described.

Χρήσεις οι μικρο-οπτικές φίλτρων φαψρυ- Perot πολυ-κοιλοτήτων εξέτρεψαν electrostatically τις μεμβράνες MEMS. Το φίλτρο περιλαμβάνει μια πρώτη electrostatically deflectable συσκευή μεμβρανών. Μια κυρτή δομή καθρεφτών διαμορφώνεται στην οπτική μεμβράνη της. Ομοίως, μια δεύτερη electro-statically deflectable συσκευή μεμβρανών παρέχεται, η οποία έχει μια δεύτερη καμμμένη δομή καθρεφτών στη μεμβράνη. Το πλήκτρο διαστήματος χρησιμοποιείται για να χωρίσει την πρώτη συσκευή μεμβρανών από τη δεύτερη συσκευή μεμβρανών. Το πλήκτρο διαστήματος υποστηρίζει έναν καθρέφτη μεταξύ των πρώτων και δεύτερων καμμμένων δομών καθρεφτών. Οι τεχνικές συνελεύσεων γκοφρέτα-επιπέδων και επιπέδων συσκευών περιγράφονται επίσης.