A method of manufacturing semiconductor devices wherein a computer generated list of appropriate review recipes for each layer is available to be used by a review station to review defects on each layer. The most appropriate review recipe is used by the review station unless a review station operator selects an alternate review recipe.

Μια μέθοδος τις συσκευές ημιαγωγών όπου ένας υπολογιστής παρήγαγε τον κατάλογο κατάλληλων συνταγών αναθεώρησης για κάθε στρώμα είναι διαθέσιμη για να χρησιμοποιηθεί από έναν σταθμό αναθεώρησης για να αναθεωρήσει τις ατέλειες σε κάθε στρώμα. Η πιό κατάλληλη συνταγή αναθεώρησης χρησιμοποιείται από το σταθμό αναθεώρησης εκτός αν ένας χειριστής σταθμών αναθεώρησης επιλέγει μια εναλλάσσομαι συνταγή αναθεώρησης.