A load port module is mounted adjacent a process tool for loading semiconductor wafers to the process tool and unloading them from the process tool. The module includes a mounting frame having a charging opening therein for entry into the process tool, a platform having an upper surface for supportively receiving a cassette containing the semiconductor wafers to be passed though the charging opening into the process tool, a selectively operable closure movable between a first position withdrawn from the charging opening allowing the passage therethrough of the semiconductor wafers and a second position overlying the charging opening preventing the passage therethrough of the semiconductor wafers, and a shroud movable between a retracted position fully exposing the platform and its associated cassette and an advanced position fully encompassing the platform and the cassette adjacent the process tool. The shroud serves as a barrier against the passage of particulate matter into the process tool. In one instance, the platform includes a tilt assembly for moving a cassette receiving cradle with the cassette thereon from the first location to a second location at the reception region into the process tool such that the plurality of wafers are then supported in a substantially level orientation. In another instance, the platform is movable in plane between a withdrawn position distant from the charging opening and an advanced position proximate the charging opening.

Een module van de ladingshaven wordt opgezet adjacent een proceshulpmiddel om halfgeleiderwafeltjes aan het proceshulpmiddel te laden en hen leeg te maken van het proceshulpmiddel. De module omvat een opzettend kader dat het laden daarin openend voor ingang in het proceshulpmiddel, een platform een hogere oppervlakte voor supportively het ontvangen van een cassette hebben die de halfgeleiderwafeltjes bevatten worden overgegaan hoewel het laden openend in het proceshulpmiddel, een selectief opereerbaar sluitingsroerend goed tussen een eerste positie heeft die van het laden wordt teruggetrokken openend daardoor toestaand de passage van de halfgeleiderwafeltjes en een tweede positie het laden bedekken openend daardoor verhinderend de passage van de halfgeleiderwafeltjes, en een sluierroerend goed die tussen een ingetrokken positie die volledig het platform en zijn bijbehorende cassette en een geavanceerde positie die volledig het platform omringen en cassette adjacent het proceshulpmiddel blootstellen. De sluier dient als barrière tegen de passage van corpusculaire kwestie in het proceshulpmiddel. In één instantie, omvat het platform een schuine standassemblage voor het bewegen van een cassette die wieg met de cassette ontvangt daarop van de eerste plaats aan een tweede plaats bij het ontvangstgebied in het proceshulpmiddel dusdanig dat de meerderheid van wafeltjes dan in een wezenlijk niveaurichtlijn wordt gesteund. In een andere instantie, is het platform beweegbaar in vliegtuig tussen een teruggetrokken positie ver van het laden openend en een geavanceerde naburige positie het laden het openen.