A measurement tool connects to a microscope for identifying and measuring microscopic dimensions of features on a photographic mask such as area, diameter and corner radius. Dimensions of features having sizes of less than about twice the wavelength being used (less than 1 micron for visible light) are measured quickly and accurately. The radius of curvature is also determined at submicron sizes using a flux measurement. Determination of the expected flux of a perfect comer aids in the measurement.

Uma ferramenta da medida conecta a um microscópio para identificar e medir dimensões microscópicas das características em uma máscara fotográfica tal como o raio da área, do diâmetro e do canto. As dimensões das características que têm tamanhos de menos do que sobre o wavelength que está sendo usado (menos de 1 mícron para a luz visível) são medidas duas vezes rapidamente e exatamente. O raio da curvatura é determinado também em tamanhos submicrónicos usando uma medida do fluxo. Determinação do fluxo previsto de dae (dispositivo automático de entrada) perfeitos de um comer na medida.