A method and apparatus for automated interfacing with a processing tool in a manufacturing environment having a tilt mechanism and a rotation mechanism. In one embodiment, semiconductor wafers in a cassette are presented to a processing tool by tilting the cassette during movement towards the tool. The tilt mechanism provides a means for seating the wafers in the cassette. The rotation mechanism allows the cassette to be adjusted to meet a robotic arm which extracts wafers from the cassette. Where the cassette is part of a Standard Mechanical InterFace (SMIF) system, the pod is placed onto the interface apparatus, where the pod cover is removed to allow processing of the wafers. A bellows is provided to cover the exposed cassette, thus creating an extended mini-environment including the interface apparatus, tool, and pod cover. In one embodiment, the interface apparatus includes robotic arms and a lift mechanism. Operation of the lift mechanism to open a container effects the positioning of the robotic arms to transfer the container to the tool. In one embodiment, semiconductor wafers in a cassette are ionized as the robotic arms position to grip the cassette. A gripping mechanism is adapted to grip a variety of containers in a variety of positions. A base receiver accepts containers in a first and a second orientation. A main controller provides control to a plurality of motors and functional blocks within the interface apparatus.

Метод и прибор для автоматизированный взаимодействовать с обрабатывая инструментом в производственной среде имея механизм наклона и механизм вращения. В одном воплощении, вафли полупроводника в кассете к обрабатывая инструменту путем опрокидывать кассету во время движения к инструменту. Механизм наклона обеспечивает середины для усаживать вафли в кассете. Механизм вращения позволяет кассету быть отрегулированным для того чтобы встретить робототехническую рукоятку извлекает вафли от кассеты. Где кассета будет частью стандартной механически системы поверхности стыка (SMIF), стручок помещен на прибор поверхности стыка, куда крышка стручка извлекается для того чтобы позволить обрабатывать вафель. Обеспечены, что покрывает сильфон, котор подвергли действию кассету, таким образом создающ выдвинутую мини-okrujah5uh среду включая прибор поверхности стыка, инструмент, и крышку стручка. В одно воплощение, прибор поверхности стыка вклюает робототехнические рукоятки и механизм подъема. Деятельность механизма подъема для того чтобы раскрыть контейнер производит эффект располагать робототехнических рукояток для того чтобы перенести контейнер к инструменту. В одном воплощении, вафли полупроводника в кассете ионизированы по мере того как робототехническое положение рукояток для того чтобы сжать кассету. Gripping механизм приспособлен для того чтобы сжать разнообразие контейнеров в разнообразии положений. Низкопробный приемник признавает контейнеры в первом и второй ориентацию. Главный регулятор снабубежит управление множественность моторов и функциональных блоков внутри прибор поверхности стыка.