A MicroOptoElectroMechanical (MOEM) IR detector utilizes a novel combination of integrated MEMS and photonics to achieve high responsivity with low noise. Increasing incident radiant energy bends a bimaterial arm that moves a coupling waveguide into the evanescent field of a principal optical waveguide. This, in turn, modulates the light in the principal waveguide. This device has high detection sensitivity to incident radiation due to the combination of the length of the lever arm and the sensitivity of the evanescent field. The device exhibits low noise because photons are being modulated instead of electrons.

Ένας ανιχνευτής MicroOptoElectroMechanical (MOEM) IR χρησιμοποιεί έναν νέο συνδυασμό του ενσωματωμένων MEMS και photonics για να επιτύχει το υψηλό responsivity με το χαμηλό θόρυβο. Η αυξανόμενη συναφής ακτινοβόλος ενέργεια κάμπτει έναν bimaterial βραχίονα που κινεί έναν κυματοδηγό συζεύξεων στον παροδικό τομέα ενός κύριου οπτικού κυματοδηγού. Αυτό, στη συνέχεια, διαμορφώνει το φως στον κύριο κυματοδηγό. Αυτή η συσκευή έχει την υψηλή ευαισθησία ανίχνευσης στη συναφή ακτινοβολία λόγω στο συνδυασμό του μήκους του βραχίονα μοχλών και την ευαισθησία του παροδικού τομέα. Η συσκευή εκθέτει το χαμηλό θόρυβο επειδή τα φωτόνια διαμορφώνονται αντί των ηλεκτρονίων.