This invention has enabled a new, simple thin film nanoporous dielectric fabrication method. In general, this invention uses glycerol, or another low volatility compound, as a solvent. This new method allows thin film aerogels/low density xerogels to be made without supercritical drying, freeze drying, or a surface modification step before drying. Thus, this invention allows production of nanoporous dielectrics at room temperature and atmospheric pressure, without a separate surface modification step. Although this new method allows fabrication of aerogels without substantial pore collapse during drying, there may be some permanent shrinkage during aging and/or drying. This invention allows controlled porosity thin film nanoporous aerogels to be deposited, gelled, aged, and dried without atmospheric controls. In another aspect, this invention allows controlled porosity thin film nanoporous aerogels to be deposited, gelled, rapidly aged at an elevated temperature, and dried with only passive atmospheric controls, such as limiting the volume of the aging chamber.

Diese Erfindung hat einer neuen, einfachen nanoporous dielektrischen Methode Herstellung des Dünnfilms ermöglicht. Im allgemeinen benutzt diese Erfindung Glycerin oder ein anderes niedriges Flüchtigkeit Mittel, als Lösungsmittel. Diese neue Methode erlaubt, daß xerogels Dichte des Dünnfilms aerogels/low ohne überkritischen Trockner, Frosttrockner oder einen Oberflächenänderung Schritt gebildet werden, bevor sie trocknet. So erlaubt diese Erfindung Produktion der nanoporous Dielektrika mit Raumtemperatur und atmosphärischem Druck, ohne einen unterschiedlichen Oberflächenänderung Schritt. Obgleich diese neue Methode Herstellung von aerogels ohne erheblichen Poreeinsturz während des Trockners erlaubt, kann es irgendeine dauerhafte Schrumpfung während des Alterns und/oder des Trockners geben. Diese Erfindung läßt kontrollierter Porosität Dünnfilm nanoporous aerogels ohne atmosphärische Kontrollen niedergelegt werden, gelatiert werden, gealtert werden und getrocknet werden. In einem anderen Aspekt läßt diese Erfindung kontrollierter Porosität Dünnfilm nanoporous aerogels bei einer erhöhten Temperatur niedergelegt werden, gelatiert werden, schnell gealtert werden, und mit nur passiven atmosphärischen Kontrollen, wie Begrenzen des Volumens des Alternraumes getrocknet werden.