A process for removing contaminants from the surface of a substrate comprises contacting the substrate with a cleaning composition comprising at least one mono-, di-, or trialkoxy-substituted perfluoroalkane, perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-containing perfluoroalkane, or perfluorocycloalkylene-containing perfluoroalkane compound, the compound optionally containing additional catenary heteroatoms. The compounds exhibit good solvency properties while being environmentally acceptable.

Un procédé pour enlever des contaminants de la surface d'un substrat comporte entrer en contact avec le substrat avec une composition en nettoyage comportant au moins un mono -, des Di -, ou le perfluoroalkane trialkoxy-substitué, perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-contenant le perfluoroalkane, ou perfluorocycloalkylene-contenant le composé de perfluoroalkane, le composé contenant sur option les heteroatoms caténaires additionnels. Les composés présentent de bonnes propriétés de solvabilité tout en étant ambiant acceptables.