A method and a system are disclosed for determining at least one characteristic of a sample that contains a substrate and at least one film disposed on or over a surface of the substrate. The method includes a first step of placing a mask over a free surface of the at least one film, where the mask has a top surface and a bottom surface that is placed adjacent to the free surface of the film. The bottom surface of the mask has formed therein or thereon a plurality of features for forming at least one grating. A next step directs optical pump pulses through the mask to the free surface of the film, where individual ones of the pump pulses are followed by at least one optical probe pulse. The pump pulses are spatially distributed by the grating for launching a plurality of spatially distributed, time varying strain pulses within the film, which cause a detectable change in optical constants of the film. A next step detects a reflected or a transmitted portion of the probe pulses, which are also spatially distributed by the grating. A next step measures a change in at least one characteristic of at least one of reflected or transmitted probe pulses due to the change in optical constants, and a further step determines the at least one characteristic of the sample from the measured change in the at least one characteristic of the probe pulses. An optical mask is also disclosed herein, and forms a part of these teachings.

Une méthode et un système sont révélés pour déterminer au moins une caractéristique d'un échantillon qui contient un substrat et au moins d'un film disposé sur ou au-dessus d'une surface du substrat. La méthode inclut une première étape de placer un masque au-dessus d'une surface libre de l'au moins un film, où le masque a une surface supérieure et un fond qui est placé à côté de la surface libre du film. Le fond du masque a formé là-dedans ou là-dessus une pluralité de dispositifs pour former au moins un râpage. Une prochaine étape dirige des impulsions optiques de pompe par le masque vers la surface libre du film, où l'individu ceux des impulsions de pompe sont suivis au moins d'une impulsion optique de sonde. Les impulsions de pompe sont dans l'espace distribuées par le râpage pour lancer une pluralité dans l'espace de distribué, les impulsions variables de contrainte de temps dans le film, qui causent un changement discernable des constantes optiques du film. Une prochaine étape détecte une partie reflétée ou transmise des impulsions de sonde, qui sont également dans l'espace distribuées par le râpage. Une prochaine étape mesure un changement au moins d'une caractéristique au moins d'une d'impulsions reflétées ou transmises de sonde dues au changement des constantes optiques, et une autre étape détermine l'au moins une caractéristique de l'échantillon provenant du changement mesuré de l'au moins une caractéristique des impulsions de sonde. Un masque optique est également révélé ci-dessus, et fait partie de ces enseignements.