A substrate support having a removable edge ring, which is made of a
material having a lower coefficient of thermal expansion (CTE), than that
of the substrate support is provided. The edge ring and the substrate
support are configured for pin and slot coupling. Specifically, either the
edge ring, or the substrate support comprises a plurality of pins, and the
other of the edge ring or the substrate support comprises a plurality of
hollow regions or slots in which the pins may be inserted. The slots are
at least as wide as a corresponding one of the plurality of pins and
extend in the direction in which the substrate support expands and
contracts during thermal cycling. Each of the slots extends a length which
is sufficient to compensate for the difference between the CTE of the
substrate support and the CTE of the edge ring, over the range of process
temperatures to which the apparatus is exposed. Preferably the susceptor
is made of aluminum, and the edge ring is made of ceramic. A restrictor
gap may be defined between a surface of the substrate support and a
surface of the purge ring so as to restrict a volume of purge gas flowing
to an edge of a substrate positioned on the substrate support. The purge
gas delivery channel may have an exposed outlet and may be upwardly angled
to facilitate cleaning.
Uma sustentação da carcaça que tem um anel removível da borda, que seja feito de um material que tem um coeficiente mais baixo da expansão térmica (CTE), do que isso da sustentação da carcaça é fornecida. O anel da borda e a sustentação da carcaça são configurarados para o acoplamento do pino e do entalhe. Especificamente, ou o anel da borda, ou a sustentação da carcaça compreende um plurality dos pinos, e o outro do anel da borda ou da sustentação da carcaça compreendem um plurality das regiões ocas ou dos entalhes em que os pinos podem ser introduzidos. Os entalhes são ao menos tão largos quanto correspondente do plurality dos pinos e estendem no sentido em que a sustentação da carcaça expande e se contrai durante dar um ciclo térmico. Cada um dos entalhes estende um comprimento que seja suficiente de compensar para a diferença entre o CTE da sustentação da carcaça e o CTE do anel da borda, sobre a escala das temperaturas process a que o instrumento é exposto. O susceptor é feito preferivelmente do alumínio, e o anel da borda é feito de cerâmico. Uma abertura do limitador pode ser definida entre uma superfície da sustentação da carcaça e uma superfície do anel da remoção para restringir um volume do gás da remoção que flui a uma borda de uma carcaça posicionada na sustentação da carcaça. A canaleta da entrega do gás da remoção pode ter uma tomada exposta e pode ascendente ser dobrada para facilitar limpar.