A Micro Electro-Mechanical System (MEMS) switch (100) having a bottom electrode (116) formed over a substrate (112) and a thin protective cap layer (130) disposed over the bottom electrode (116). A dielectric material (118) is disposed over the protective cap layer (130) and a pull-down electrode (122) is formed over the spacer (120) and the dielectric material (118). The protective cap layer (130) prevents the oxidation of the bottom electrode (116). The thin protective cap layer (130) comprises a metal having an associated oxide with a high dielectric constant. A portion (132) of the thin protective cap layer (130) may oxidize during the formation of the dielectric material (118), increasing the capacitance of the dielectric stack (128).

Un interruptor electromecánico micro del sistema (MEMS) (100) que tiene un electrodo de tierra (116) formado sobre un substrato (112) y una capa fina de la tapa protectora (130) dispuesta sobre el electrodo de tierra (116). Un material dieléctrico (118) se dispone sobre la capa de la tapa protectora (130) y un electrodo pull-down (122) se forma sobre el espaciador (120) y el material dieléctrico (118). La capa de la tapa protectora (130) previene la oxidación del electrodo de tierra (116). La capa fina de la tapa protectora (130) abarca un metal que tiene un óxido asociado con una alta constante dieléctrica. Una porción (132) de la capa fina de la tapa protectora (130) puede oxidar durante la formación del material dieléctrico (118), aumentando la capacitancia del apilado dieléctrico (128).