In a machine for processing semiconductor wafers, a rotor includes two pairs of combs. A lock down mechanism has a lock bar, temporarily engaged and moved by a loading/unloading robot, drives a retainer against the edges of the wafers, to better hold them in place during processing. Contamination via generation of particles is reduced. Combs on the rotor have a resilient strip. The lower edges of the wafers compress slightly into or deflect the resilient strip, when urged into place by the lock down mechanism.

In een machine om halfgeleiderwafeltjes te verwerken, omvat een rotor twee paren kammen. Een slot onderaan mechanisme heeft een bezette slotstaaf, tijdelijk en bewogen door laden en lossen drijft een robot, een pal tegen de randen van de wafeltjes, aan beter houd hen op zijn plaats tijdens verwerking. De verontreiniging via generatie van deeltjes wordt verminderd. De kammen op de rotor hebben een veerkrachtige strook. De lagere randen van het wafeltjeskompres lichtjes in of doen afwijken de veerkrachtige strook, wanneer aangespoord in plaats door het slot onderaan mechanisme.