This invention provides an angled-dual-illumination-axis confocal scanning
microscope comprising a fiber-coupled, angled-dual-illumination-axis
confocal scanning head and a vertical scanning unit. The
angled-dual-illumination-axis confocal scanning head is configured such
that two illumination beams intersect optimally at an angle .theta. within
an object and the scanning is achieved by pivoting the illumination beams
and their corresponding observation beams using a single scanning element,
thereby producing an arc-line scan. The vertical scanning unit causes the
angled-dual-illumination-axis confocal scanning head to move towards or
away from the object, thereby yielding a vertical cross-section scan of
the object. The angled-dual-illumination-axis confocal scanning microscope
have advantages of enhanced resolution, faster scanning, higher
sensitivity and larger dynamic range of detection, a larger field of view
and a longer working distance, and a compact and integrated construction.
Deze uitvinding verstrekt een microscoop van het angled-dubbel-verlichting-as confocal aftasten bestaand uit een vezel-gekoppeld, hoofd van het angled-dubbel-verlichting-as confocal aftasten en uit een verticale aftasteneenheid. Het hoofd van het angled-dubbel-verlichting-as confocal aftasten wordt gevormd dusdanig dat twee verlichtingsstralen optimaal bij een hoek theta. binnen een voorwerp snijden en het aftasten door de verlichtingsstralen en hun overeenkomstige observatiestralen te draaien gebruikend één enkel aftastenelement wordt bereikt, daardoor veroorzakend een boog-lijn aftasten. De verticale aftasteneenheid veroorzaakt de angled-dubbel-verlichting-as confocal aftastenhoofd om zich naar of vanaf het voorwerp te bewegen, daardoor opbrengend een verticaal dwarsdoorsnedeaftasten van het voorwerp. De microscoop van het angled-dubbel-verlichting-as confocal aftasten heeft voordelen van verbeterde resolutie, sneller aftasten, hogere gevoeligheid en grotere dynamische waaier van opsporing, een groter gebied van mening en een langere het werk afstand, en een compacte en geïntegreerde bouw.
