A tunable injection seeded very narrow band F.sub.2 lithography laser. The laser combines modular design features of prior art long life releasable lithography lasers with special F.sub.2 line narrowing and tuning techniques applied to a seed beam operated in a first gain medium which beam is used to stimulate narrow band lasing in a second gain medium to produce a very narrow band laser beam useful for integrated circuit lithography.

Tunable впрыска осеменила очень узкий лазер литографированием полосы F.sub.2. Характеристики модульного проектирования зернокомбайнов лазера лазеров литографированием длинней жизни прежнего искусствоа releasable с специальным F.sub.2 выравнивают суживая и настраивая методы приложенные к лучу семени эксплуатируемому в первом средстве увеличения луч использован для того чтобы простимулировать узкую полосу lasing в втором средстве увеличения для того чтобы произвести очень узкий лазерныйа луч полосы полезный для литографирования интегрированной цепи.