An optical device that is a waveguide with a heating element thereon that is formed on a silicon substrate is disclosed. The waveguide is formed on a region of porous silicon formed in the silicon substrate. The porous silicon region provides greater resistance to the flow of heat than the silicon substrate on which the device is formed. Optionally, the porous silicon region also provides greater resistance to the flow of heat than the waveguide.

Een optisch apparaat dat een golfgeleider daarop met een het verwarmen element is dat op een siliciumsubstraat wordt gevormd wordt onthuld. De golfgeleider wordt op een gebied van poreus silicium gevormd dat in het siliciumsubstraat wordt gevormd. Het poreuze siliciumgebied verstrekt grotere weerstand tegen de stroom van hitte dan het siliciumsubstraat waarop het apparaat wordt gevormd. Naar keuze, verstrekt het poreuze siliciumgebied ook grotere weerstand tegen de stroom van hitte dan de golfgeleider.