An electro-mechanical structure which controls the movement of an optical device coupled thereto is disclosed. Both the electro-mechanical structure and the optical device are disposed on a substrate surface. The electro-mechanical structure controls the movement of the optical device by first lifting the optical device a predetermined distance above the plane of the substrate surface. Thereafter, the lifted optical device is moveable relative to the plane of the substrate surface in response to an electrostatic field generated between the electro-mechanical structure and the substrate.

Een elektromechanische structuur die de beweging van een optisch daaraan gekoppeld apparaat controleert wordt onthuld. Zowel worden de elektromechanische structuur als het optische apparaat geschikt op een substraatoppervlakte. De elektromechanische structuur controleert de beweging van het optische apparaat door het optische apparaat eerst op te heffen een vooraf bepaalde afstand boven het vliegtuig van de substraatoppervlakte. Daarna, is het opgeheven optische apparaat beweegbaar met betrekking tot het vliegtuig van de substraatoppervlakte in antwoord op een elektrostatisch gebied dat tussen de elektromechanische structuur en het substraat wordt geproduceerd.