The specification describes thermo-optically controlled waveguides where the thermo-optic control is a heater strip precisely aligned to the waveguide core by using the heater strip as an etch mask to define at least part of the core/upper cladding structure. In one embodiment the heater strip mask is larger than the underlying waveguide core so as to produce, on etching, a core surrounded with a minimum of cladding material on the sidewalls of the core, and a confined heat channel between the waveguide core and the heater strip. In a second embodiment the heater strip is used as an etch mask to define a core cladding stack, and a third cladding layer is deposited to clad the sidewalls of the core. In this embodiment, the cladding material in the stack can be optimized for thermal conductivity, and the third cladding material can be optimized for thermo-optic sensitivity.

La especificación describe las guías de onda controladas thermo-optically-o'ptico donde está una tira el control thermo-o'ptico del calentador alineada exacto con la base de la guía de onda usando la tira del calentador pues una máscara del grabado de pistas para definir por lo menos la parte de la estructura del revestimiento de core/upper. En una encarnación la máscara de la tira del calentador es más grande que la base subyacente de la guía de onda para producir, en la aguafuerte, una base rodeada con un mínimo de material del revestimiento en los flancos de la base, y un canal confinado del calor entre la base de la guía de onda y la tira del calentador. En una segunda encarnación se utiliza la tira del calentador mientras que una máscara del grabado de pistas para definir un apilado del revestimiento de la base, y una tercera capa del revestimiento se deposita a revestido los flancos de la base. En esta encarnación, el material del revestimiento en el apilado se puede optimizar para la conductividad termal, y el tercer material del revestimiento se puede optimizar para la sensibilidad thermo-o'ptica.