An electrostatic actuator includes liquid in the gap between elements of an electrostatic actuator. Preferred liquids have a high dielectric constant, which amplifies the electrostatic force induced between the elements by a voltage across the elements, thereby increasing the strength of the actuator and enabling the actuator to be used in a variety of applications. In addition, the liquid avoids contact between the elements that might otherwise occur during use. This helps prevent arcing between the elements and accompanying wear, as well as catastrophic failure such as the plates breaking as they collide. Preferred liquids are also substantially nonelectrically conductive, chemically stable, have a high breakdown voltage, low viscosity, and low vapor pressure to avoid evaporation. An exemplary liquid is diffusion pump oil.

Ένας ηλεκτροστατικός ενεργοποιητής περιλαμβάνει το υγρό στο χάσμα μεταξύ των στοιχείων ενός ηλεκτροστατικού ενεργοποιητή. Τα προτιμημένα υγρά έχουν μια υψηλή διηλεκτρική σταθερά, η οποία ενισχύει την ηλεκτροστατική δύναμη που προκαλείται μεταξύ των στοιχείων από μια τάση στα στοιχεία, με αυτόν τον τρόπο αυξάνοντας τη δύναμη του ενεργοποιητή και επιτρέποντας στον ενεργοποιητή για να χρησιμοποιηθεί σε ποικίλες εφαρμογές. Επιπλέον, το υγρό αποφεύγει την επαφή μεταξύ των στοιχείων που ειδάλλως να εμφανιστούν κατά τη διάρκεια της χρήσης. Αυτό βοηθά να αποτρέψει να σχηματίσει τόξο μεταξύ των στοιχείων και της συνοδευτικής ένδυσης, καθώς επίσης και την καταστροφική αποτυχία όπως τα πιάτα που σπάζουν καθώς συγκρούονται. Τα προτιμημένα υγρά είναι επίσης ουσιαστικά nonelectrically αγώγιμα, χημικά σταθερός, έχουν μια υψηλή τάση διακοπής, ένα χαμηλό ιξώδες, και μια χαμηλή πίεση ατμού να αποφύγουν την εξάτμιση. Ένα υποδειγματικό υγρό είναι πετρέλαιο αντλιών διάχυσης.