An article comprising an optical cavity includes two mirrors, at least one of which is advantageously movable, that are spaced from and parallel to one another. In some embodiments, both mirrors are formed from unstressed single crystal silicon. The single crystal silicon used in some embodiments is advantageously sourced from single crystal silicon-on-insulator ("SOI") wafers. In a method in accordance with the present invention, a first mirror is patterned in the thin silicon layer of a first SOI wafer. A standoff is disposed on the thin silicon layer near the first mirror. The thin silicon layer of a second SOI wafer is attached to the standoff such that there is a gap between the two, spaced, thin silicon layers. The thin silicon layer of the second SOI wafer is released forming a movable mirror by removing the thick layer of silicon and the buried oxide from that wafer.

Een artikel dat uit een optische holte bestaat omvat twee spiegels, minstens één waarvan voordelig beweegbaar is, dat van en parallel aan elkaar uit elkaar wordt geplaatst. In sommige belichamingen, worden beide spiegels gevormd van unstressed enig kristalsilicium. Het enig kristalsilicium dat in sommige belichamingen wordt gebruikt is voordelig afkomstig van enig kristalsilicon-on-insulator ("SOI") wafeltjes. In een methode overeenkomstig de onderhavige uitvinding, is een eerste spiegel gevormd in de dunne siliciumlaag van een eerste wafeltje SOI. Een afstand houden wordt geschikt op de dunne siliciumlaag dichtbij de eerste spiegel. De dunne siliciumlaag van een tweede wafeltje SOI is in bijlage aan het afstand houden dusdanig dat er een hiaat tussen twee, uit elkaar geplaatste, dunne siliciumlagen is. De dunne siliciumlaag van het tweede wafeltje SOI wordt vrijgegeven vormt een beweegbare spiegel door de dikke laag van silicium en het begraven oxyde uit dat wafeltje te verwijderen.