A process for producing a waveguide, wherein a first layer is deposited on a silicon or glass substrate, a core structure is subsequently structured, and the core structure is protected by a protective layer. Prior to each step for depositing a new layer, the layer that has just been applied is fluorinated.

Процесс для производить волновод, при котором первый слой депозирован на субстрате кремния или стекла, структура сердечника затем составлен, и структура сердечника защищена защитным слоем. До каждого шага для депозировать новый слой, слой который как раз был приложен fluorinated.