A method and apparatus for a micromechanical modulator having a
reduced-mass multilayer membrane is disclosed. The modulator includes a
movable composite membrane suspended over a subtrate. The composite
membrane consists of an overlayer and an underlayer. The overlayer is
characterized by a thickness that is less than one-quarter of a wavelength
of the optical signal being modulated. Under the action of a bias voltage,
the movable membrane moves from a quiescent position to a second position
closer to the substrate. The modulator is fabricated so that in either the
quiescent position or the second position the gap between the composite
membrane and the substrate is equal to d=m.lambda./4-n.sub.s s when
n.sub.u is about equal to (n.sub.s) .sup.0.5, where m is an even integer,
.lambda. is the wavelength of the optical signal being modulated, n.sub.s
is the refractive index of the subtrate, n.sub.u is the refractive index
of the underlayer, n.sub.o is the refractive index of the overlayer, and s
is the thickness of the overlayer. More generally, the gap may be given by
d=m.lambda./4-n.sub.s s+(n.sub.u -n.sub.s.sup.0.5) (.lambda./10) sin
(4.pi.n.sub.o s/.lambda.).
Показаны метод и прибор для micromechanical модулятора/демодулятор имея мембрану уменьшать-massy разнослоистую. Модулятор/демодулятор вклюает подвижную составную мембрану suspended над subtrate. Составная мембрана состоит overlayer и underlayer. Overlayer охарактеризовано толщиной чем одн из длины волны оптически будучи модулированной сигнала. Под действие косого напряжения тока, подвижная мембрана двигает от quiescent положения к второму положению closer to субстрат. Модулятор/демодулятор изготовлен так, что в или quiescent положении или втором положении зазор между составной мембраной и субстратом будет равн к d=m.lambda./4-n.sub.s с когда n.sub.u около равно к sup.0.5 (n.sub.s), где м будет ровный интежер, lambda. длина волны оптически будучи модулированной сигнала, n.sub.s будет рефрактивным индексом subtrate, n.sub.u будет рефрактивным индексом underlayer, n.sub.o будет рефрактивным индексом overlayer, и с будет толщина overlayer. Более вообще, зазор может даться d=m.lambda./4-n.sub.s s+(n.sub.u -) (lambda./10) согрешение n.sub.s.sup.0.5 (4.pi.n.sub.o s/.lambda.).
