A method, and a system for employing the method, for compacting the amount of memory required to store a two dimensional array of exposure spot shapes in a numerically controlled (NC) electron beam lithography tool. The method includes the steps of: sorting the shapes in a selected line based on the widths and heights of the shapes; identifying and removing from contention a group of shapes in the selected line having common widths and heights; determining a dosage requirement for the shapes in the group; and applying one or more commands based on the group and the determined dosed requirement to enable the NC electron beam lithography tool to draw the two dimensional array of exposure spot shapes. Before the sorting step, the method can include initially selecting whether processing for the shapes is performed on a vertical line or on a horizontal line basis; and applying the sorting step, the identifying step, the determining step and the applying step on a basis not selected in the initially selecting step. The method can also include the steps of: preselecting a minimum number of required common shapes; and performing the identifying and removing step only if the number of shapes in the group equals or exceeds the minimum number.

Eine Methode und ein System für das Einsetzen der Methode, denn das Verbinden der Menge des Gedächtnisses erfordert, um eine zweidimensionale Reihe des Belichtung Punktes zu speichern formt in ein numerisch gesteuertes (NC) Elektronenstrahl-Lithographiewerkzeug. Die Methode schließt die Schritte von ein: die Formen in einer vorgewählten Linie sortieren basiert auf den Breiten und den Höhen der Formen; von der Absicht ein Gruppe Formen in der vorgewählten Linie kennzeichnen und entfernend, die allgemeine Breiten und Höhen hat; Bestimmung einer Dosierunganforderung für die Formen in der Gruppe; und einen oder mehr Befehle anwendend basiert auf der Gruppe und der entschlossenen dosierten Anforderung, dem NC Elektronenstrahl-Lithographiewerkzeug zu ermöglichen, die zweidimensionale Reihe von Belichtung Punktformen zu zeichnen. Vor dem sortierenden Schritt kann die Methode ob die Verarbeitung zuerst vorwählen einschließen, für die Formen an einer vertikalen Linie oder an einer horizontalen Linie Grundlage durchgeführt wird; und den sortierenden Schritt anwendend, treten der kennzeichnende Schritt, der feststellenschritt und das Zutreffen auf eine Grundlage, die nicht im zuerst Wahlschritt vorgewählt wird. Die Methode kann die Schritte von auch einschließen: Vorwählen einer Mindestzahl der erforderlichen allgemeinen Formen; und den kennzeichnenden und entfernenden Schritt durchführend, nur wenn die Zahl Formen in der Gruppe der Mindestzahl entspricht oder übersteigt.