The invention provides tunable optical filters which incorporate a surface-micromachined out-of-plane plate having a moveable membrane with a high reflective (HR) coated mirror. The mirror defines one side of a Fabry-Perot (FP) filter cavity and is movable in a direction along an axis of the filter cavity. The other side of the filter cavity is defined by a second HR-coated mirror. In one illustrative embodiment, a first plate is formed on a substrate, and then subsequently released from the substrate and secured in a plane orthogonal to the substrate. The first HR-coated mirror is formed as part of a movable membrane supported in an opening through the first plate. The second mirror is formed on a second plate secured in another plane orthogonal to the plane of the substrate, such that the filter cavity is defined horizontally between the first and second mirrors. In another embodiment, the second mirror is formed on an endface of an external fiber, such that light from the fiber can pass from the second mirror through an opening in the second plate to the first mirror. In another possible embodiment, the second plate is eliminated and the second mirror is formed on the substrate. The first plate is then arranged over the second mirror, in a plane parallel to the substrate, and separated from the substrate by spacers, such that the filter cavity is defined vertically.

Η εφεύρεση παρέχει τα δυνάμενα να ξορδισθεί οπτικά φίλτρα που ενσωματώνουν το α επιφάνεια- το έξω-$$$-ΕΠΊΠΕΔΟ πιάτο που έχει μια κινητή μεμβράνη με έναν υψηλό αντανακλαστικό ντυμένο (HR) καθρέφτη. Ο καθρέφτης καθορίζει μια πλευρά μιας κοιλότητας φίλτρων φαψρυ- Perot (FP) και είναι κινητός σε μια κατεύθυνση κατά μήκος ενός άξονα της κοιλότητας φίλτρων. Η άλλη πλευρά της κοιλότητας φίλτρων καθορίζεται από έναν δεύτερο ωρ.-ντυμένο καθρέφτη. Σε μια επεξηγηματική ενσωμάτωση, ένα πρώτο πιάτο διαμορφώνεται σε ένα υπόστρωμα, και έπειτα στη συνέχεια απελευθερώνεται από το υπόστρωμα και εξασφαλίζεται σε ένα αεροπλάνο ορθογώνιο στο υπόστρωμα. Ο πρώτος ωρ.-ντυμένος καθρέφτης διαμορφώνεται ως τμήμα μιας κινητής μεμβράνης που υποστηρίζεται σε ένα άνοιγμα μέσω του πρώτου πιάτου. Ο δεύτερος καθρέφτης διαμορφώνεται σε ένα δεύτερο πιάτο που εξασφαλίζεται σε ένα άλλο αεροπλάνο ορθογώνιο στο αεροπλάνο του υποστρώματος, έτσι ώστε η κοιλότητα φίλτρων καθορίζεται οριζόντια μεταξύ των πρώτων και δεύτερων καθρεφτών. Σε μια άλλη ενσωμάτωση, ο δεύτερος καθρέφτης διαμορφώνεται σε ένα endface μιας εξωτερικής ίνας, έτσι ώστε το φως από την ίνα μπορεί να περάσει από το δεύτερο καθρέφτη μέσω ενός ανοίγματος στο δεύτερο πιάτο στον πρώτο καθρέφτη. Σε μια άλλη πιθανή ενσωμάτωση, το δεύτερο πιάτο αποβάλλεται και ο δεύτερος καθρέφτης διαμορφώνεται στο υπόστρωμα. Το πρώτο πιάτο τακτοποιείται έπειτα πέρα από το δεύτερο καθρέφτη, σε ένα αεροπλάνο παράλληλο στο υπόστρωμα, και χωρίζεται από το υπόστρωμα από τα πλήκτρα διαστήματος, έτσι ώστε η κοιλότητα φίλτρων καθορίζεται κάθετα.