A high precision positioning device includes an end effector and a platen spaced therebelow for receiving a workpiece. One of the end effector and the platen is moveable in the X-Y plane. One of the end effector and the platen is moveable in the Z direction. The device includes senors for sensing the position of the end effector in the X, Y and Z directions relative to the platen. The apparatus includes a control system for controlling the movement of the end effector relative to the platen and adjusting the position of the end effector relative to the X. Y and Z position as sensed by the sensors. Preferably the platen is generally parallel to the X-Y plane and the Z direction is normal to the platen. Preferably the control system uses a position, velocity and acceleration control system for controlling the movement in the X and Y direction and an impedance control system for controlling the movement in the Z direction. The method of operating the high precision positioning device uses a host computer and an embedded computer. The method includes the steps of receiving and checking data; sending and decoding the checked data and determining when a move command appears; instructing a move command and determining set-point data for the move command; sending set-point data to regulator task module and sending data from the positional sensors to the regulator task module; determining the control parameters in the regulator task module and activating the motors to move the end effector.

Une précision élevée plaçant le dispositif inclut un terminal et un therebelow espacé par platine pour recevoir un objet. Un du terminal et de la platine est mobile dans l'avion de X-Y. Un du terminal et de la platine est mobile dans la direction de Z. Le dispositif inclut des senors pour sentir la position du terminal dans les directions de X, de Y et de Z relativement à la platine. L'appareil inclut un système de commande pour commander le mouvement du terminal relativement à la platine et ajuster la position du terminal relativement à X. Y et la position de Z comme senti par les sondes. De préférence la platine est généralement parallèle à l'avion de X-Y et la direction de Z est normale à la platine. De préférence le système de commande emploie une position, une vitesse et un système de commande d'accélération pour commander le mouvement dans la direction de X et de Y et un système de commande d'impédance pour commander le mouvement dans la direction de Z. La méthode d'actionner la précision élevée plaçant le dispositif utilise un ordinateur principal et un ordinateur incorporé. La méthode inclut les étapes de recevoir et de vérifier des données ; envoyant et décodant les données vérifiées et déterminant quand une commande de mouvement apparaît ; en instruisant un mouvement commandez et en déterminant des données de point de consigne pour le mouvement commandez ; en envoyant des données de point de consigne au régulateur chargez le module et en envoyant des données des sondes de position au régulateur chargez le module ; en déterminant les paramètres de commande dans le régulateur chargez le module et activer les moteurs de déplacer le terminal.