An improved crucible cover for multiple pocket electron beam sources has been invented. The invention provides selection between one of the multiple pockets for evaporative heating and a noncontacting, line-of-sight blocking baffle between heated and unheated pockets. In one embodiment, the baffle is formed by the cooperation of a crucible surface groove with a cover feature that extends into the groove. In a second embodiment, the baffle is formed by a barrier extending upwards from the crucible surface between pockets that cooperates with a cover to form the line-of-sight baffle. The crucible and cover in these embodiments accommodate deposits without hindering the ability of the baffle to reduce contamination or interfere with the operation of the source. Additionally, the cover and crucible may be operated separately, with a cover lifting mechanism that lowers the cover to form a baffle and raises the cover to allow the separately controlled rotation of the crucible. By blocking the line-of-sight between pockets and providing a way to reduce contamination from deposits, the present invention eliminates the main sources of material contamination in multiple pocket sources.

Une couverture améliorée de creuset pour des sources multiples de faisceau d'électrons de poche a été inventée. L'invention fournit le choix entre un des poches multiples pour le chauffage évaporatif et un de non contact, du line-of-sight bloquant la cloison entre les poches de chauffage et non chauffées. Dans une incorporation, la cloison est constituée par la coopération d'une cannelure de surface de creuset avec un dispositif de couverture qui avance à la cannelure. Dans une deuxième incorporation, la cloison est constituée par une barrière se prolongeant vers le haut de la surface de creuset entre les poches qui coopère avec une couverture à former la cloison de line-of-sight. Le creuset et la couverture dans ces incorporations adaptent à des dépôts sans gêner la capacité de la cloison de réduire la contamination ou d'interférer l'opération de la source. En plus, la couverture et le creuset peuvent être actionnés séparément, avec un mécanisme de levage de couverture qui abaisse la couverture pour former une cloison et soulève la couverture pour permettre la rotation séparément commandée du creuset. En bloquant le line-of-sight entre les poches et en fournissant une manière de réduire la contamination à partir des dépôts, la présente invention élimine les sources principales de contamination matérielle dans des sources multiples de poche.