An apparatus and method for using .alpha.-particle energy loss to measure the thickness and stoichiometry of films grown by molecular beam epitaxy and other methods. The apparatus for measuring the thickness of films grown on a substrate in a growth chamber, comprises a protective housing having an aperture opening into the growth chamber, a solid state detector disposed in the protective housing, a shutter for opening and closing the aperture, a shield disposed in the housing between the aperture and the solid state detector for shielding the detector, and a calibration source disposed between the shield and the detector for calibrating the measurements made by the detector. A second calibration source disposed between the shutter and the shield, for measuring deposition on the shield.

Συσκευές και μια μέθοδος για την ενεργειακή απώλεια αλπχα.-μορίων για να μετρήσει το πάχος και τη στοιχειομετρία των ταινιών που αυξάνονται με τη μοριακή επιταξία ακτίνων και άλλες μεθόδους. Η συσκευή για το πάχος των ταινιών που αυξάνονται σε ένα υπόστρωμα σε μια αίθουσα αύξησης, περιλαμβάνει μια προστατευτική κατοικία που έχει ένα άνοιγμα ανοίγοντας στην αίθουσα αύξησης, έναν στερεάς κατάστασης ανιχνευτή που διατίθεται στην προστατευτική κατοικία, ένα παραθυρόφυλλο για το άνοιγμα και το κλείσιμο του ανοίγματος, μια ασπίδα διατεθειμένων στην κατοικία μεταξύ του ανοίγματος και του στερεάς κατάστασης ανιχνευτή για την προστασία του ανιχνευτή, και μια πηγή βαθμολόγησης διατεθειμένη μεταξύ της ασπίδας και του ανιχνευτή για τη βαθμολόγηση των μετρήσεων που γίνονται από τον ανιχνευτή. Μια δεύτερη πηγή βαθμολόγησης που διατίθεται μεταξύ του παραθυρόφυλλου και της ασπίδας, για τη μέτρηση της απόθεσης στην ασπίδα.