The upper electrode of a capacitor is constituted of laminated films which act to prevent hydrogen atoms from reaching the capacitor electrodes and degrading performance. In one example, a four layer upper electrode respectively act as a Schottky barrier layer, a hydrogen diffusion preventing layer, a reaction preventing layer, and an adsorption inhibiting layer. Therefore, the occurrence of a capacitance drop, imperfect insulation, and electrode peeling in the semiconductor device due to a reducing atmosphere can be prevented. In addition, the long-term reliability of the device can be improved.

Die obere Elektrode eines Kondensators wird von lamellierten Filmen festgesetzt, die fungieren, um zu verhindern, daß Wasserstoffatome Erreichen der Kondensatorelektroden und Leistung vermindern. In einem Beispiel, oberen Elektrode mit vier Schichten beziehungsweise in dienen als eine Schottky Grenzschicht, in einer Wasserstoffdiffusion (Zerstäubung), die Schicht verhindern, in einer Reaktion, die Schicht verhindern, und in einer inhibierenden Schicht der Aufnahme. Folglich kann das Auftreten eines Kapazitanztropfens, der unvollständigen Isolierung und der Elektrode, die im Halbleiterelement wegen einer reduzierenden Atmosphäre abzieht, verhindert werden. Zusätzlich kann die langfristige Zuverlässigkeit der Vorrichtung verbessert werden.