A method for optimizing matching network between an output impedance and an input impedance in a semiconductor process apparatus is disclosed. The method includes the steps of: providing a neural network capable of being trained through repeated learning; training the neural network from previously performed process conditions; setting up an initial value; comparing the initial value with a theoretically calculated value, to obtain error between the values; and repeating the training, setting, and comparing steps until the error becomes zero.

Μια μέθοδος για το ταιριάζοντας με δίκτυο μεταξύ μιας σύνθετης αντίστασης παραγωγής και μιας σύνθετης αντίστασης εισαγωγής σε μια συσκευή διαδικασίας ημιαγωγών αποκαλύπτεται. Η μέθοδος περιλαμβάνει τα βήματα: παρέχοντας ένα νευρικό δίκτυο ικανό της κατάρτισης μέσω της επαναλαμβανόμενης εκμάθησης κατάρτιση του νευρικού δικτύου από τους προηγουμένως διενεργηθέντες όρους διαδικασίας οργάνωση μιας αρχικής αξίας συγκρίνοντας την αρχική αξία με μια θεωρητικά υπολογισμένη αξία, για να λάβει το λάθος μεταξύ των τιμών και η επανάληψη της κατάρτισης, ο καθορισμός, και η σύγκριση των βημάτων μέχρι το λάθος γίνονται μηδέν.