A silicone rubber diaphragm pump utilizing a pair of MEMS Parylene check valves and a miniature solenoid plunger and actuator is comprised of a spacer sandwiched by a silicone rubber diaphragm on one side and a check valve support on the other. The check valves in the check valve support form the inlet and outlet to a pumping chamber defined between the check valve support and silicone rubber diaphragm. The pumping action has been demonstrated by driving the silicone diaphragm with the plunger using the solenoid type actuator to generate over and under pressures in the chamber. This forces the pumped medium into and out of the chamber, thus allowing the medium to be transported. Tubing or connectors affixed to the inlet and outlet ports of the check valve support structure allow for external fluidic access. The pump works with both gas and liquid.

Μια λαστιχένια αντλία διαφραγμάτων σιλικόνης που χρησιμοποιεί ένα ζευγάρι των parylene βαλβίδων αντεπιστροφής MEMS και ενός μικροσκοπικών δύτη σωληνοειδών και ενός ενεργοποιητή αποτελείται από ένα πλήκτρο διαστήματος που στριμώχνεται από ένα λαστιχένιο διάφραγμα σιλικόνης σε μια πλευρά και μια υποστήριξη βαλβίδων αντεπιστροφής σε άλλη. Οι βαλβίδες αντεπιστροφής στην υποστήριξη βαλβίδων αντεπιστροφής διαμορφώνουν τον κολπίσκο και την έξοδο σε μια αντλώντας αίθουσα που καθορίζεται μεταξύ της υποστήριξης βαλβίδων αντεπιστροφής και του λαστιχένιου διαφράγματος σιλικόνης. Η δράση άντλησης έχει καταδειχθεί με την οδήγηση του διαφράγματος σιλικόνης με το δύτη χρησιμοποιώντας τον ενεργοποιητή τύπων σωληνοειδών για να παραγάγει πέρα από και διά πιέσεις στην αίθουσα. Αυτό αναγκάζει το αντλημένο μέσο σε και από την αίθουσα, επιτρέποντας κατά συνέπεια στο μέσο για να μεταφερθεί. Η σωλήνωση ή οι συνδετήρες που επισυνάπτεται στους λιμένες κολπίσκων και εξόδου της δομής υποστήριξης βαλβίδων αντεπιστροφής επιτρέπει την εξωτερική fluidic πρόσβαση. Η αντλία λειτουργεί και με τους δύο αέριο και το υγρό.