A technique for forming films of material (12) from a donor substrate (10). The technique has a step of introducing energetic particles (22) through a surface of a donor substrate (10) to a selected depth (20) underneath the surface, where the particles have a relatively high concentration to define donor substrate material (12) above the selected depth. Energy is provided to a selected region of the substrate to cleave a thin film of material from the donor substrate. Particles are introduced again into the donor substrate underneath a fresh surface of the donor substrate. A second thin film of material is then cleaved from the donor substrate.

Una técnica para formar las películas del material (12) de un substrato dispensador de aceite (10). La técnica tiene un paso de introducir partículas enérgias (22) a través de una superficie de un substrato dispensador de aceite (10) a una profundidad seleccionada (20) por debajo de la superficie, donde las partículas tienen una concentración relativamente alta para definir el material dispensador de aceite del substrato (12) sobre la profundidad seleccionada. La energía se proporciona a una región seleccionada del substrato para hender una película fina del material del substrato dispensador de aceite. Las partículas se introducen otra vez en el substrato dispensador de aceite por debajo de una superficie fresca del substrato dispensador de aceite. Una segunda película fina del material entonces se hiende del substrato dispensador de aceite.