An uninterrupted sub-loop water cooling system for supplying cooling water to a process machine during a short-term power interruption and a method for utilizing such system are disclosed. In the system, a buffer tank is provided for storing a quantity of cooling water maintained at a temperature of about 15.degree. C. The buffer tank is provided with conduits for fluid communication with a process machine and at least one pump means operable by an uninterrupted power system such as a battery back-up system for pumping cooling water from the buffer tank to the process machine and then return to the buffer tank forming a sub-loop when a power shortage has occurred. The present invention system is effective in bridging a time gap between the occurrence of a power outage and the start of an emergency power generating system which amounts to between about 30 seconds and about 2 minutes such that cooling water supply to a process machine is not interrupted. By utilizing the present invention uninterrupted sub-loop water cooling system equipped with buffer tank, a loss in fabrication yield of the process machine can be substantially prevented.

Ein ununterbrochenes Vor-Schleife Wasserkühlungsystem für lieferndes Kühlwasser zu einer Prozeßmaschine während einer kurzfristigen Energie Unterbrechung und eine Methode für das Verwenden solchen Systems werden freigegeben. Im System wird ein Pufferbehälter für die Speicherung einer Quantität Kühlwassers ungefähr beibehalten bei einer Temperatur von 15.degree zur Verfügung gestellt. C. Der Pufferbehälter wird mit Rohren für flüssige Kommunikation mit einer Prozeßmaschine und mindestens eine Pumpe Mitteln versehen, die von einem ununterbrochenen Energie System wie einem Sicherungssystem der Batterie für pumpendes Kühlwasser vom Pufferbehälter zur Prozeßmaschine funktionell sind und zurückgeht dann zum Pufferbehälter, der eine Vor-Schleife bildet, wenn ein Energie Mangel aufgetreten ist. Das anwesende Erfindungsystem ist wirkungsvoll, wenn es einen Zeitabstand zwischen dem Auftreten einer Energie Störung und dem Anfang eines Notstroms füllt, der System erzeugt, das zwischen ungefähr 30 Sekunden und ungefähr 2 Minuten so beträgt, daß Kühlwasser-Versorgungsmaterial zu einer Prozeßmaschine nicht unterbrochen wird. Indem man das anwesende Erfindung ununterbrochene Vor-Schleife Wasserkühlungsystem verwendet, das mit Pufferbehälter ausgerüstet wird, kann ein Verlust im Herstellung Ergebnis der Prozeßmaschine im wesentlichen verhindert werden.

 
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