A programmable dicing saw is operable with movement of its spindle and work surface for aligning a dicing blade juxtaposed between flanges on the spindle and dicing a substrate along a predetermined blade path. By locating the center of the substrate, an efficient movement of the blade relative to the substrate center rather than the work surface center saves time. Locating the center of the blade includes aligning opposing substrate edges and edge location data entry into a processor for calculation of the substrate center and control based on the substrate center. In addition, prior to cutting along the edges of the substrate, the dicing blade is first aligned for travel parallel to and proximate the edge of the substrate, and an alignment offset is provided to the programmable dicing saw for laterally moving the blade toward the center of the substrate prior to making a cut and avoiding damage to the blade and substrate that typically results when the blade slides along the substrate edge rather than cutting into the substrate. In addition, by knowing the substrate center location, an arcuate cut can be accurately made into the substrate by making multiple straight cuts with a rotation of the substrate about its center between each cut. A flange clearance is monitored by measuring the blade exposure after a preselected number of cuts during the substrate dicing, and a minimum flange clearance permitted before blade movement toward the substrate is automatically stopped.

Uma serra cortando programável é operável com movimento de sua superfície do eixo e de trabalho para alinhar uma lâmina cortando juxtaposed entre flanges no eixo e cortar uma carcaça ao longo de um trajeto de lâmina predeterminado. Encontrando o centro da carcaça, um movimento eficiente da lâmina relativo ao centro da carcaça melhor que ao centro da superfície de trabalho conserva o tempo. Encontrar o centro da lâmina inclui a introdução de dados opondo-se alinhando das bordas da carcaça e dos da posição da borda em um processador para o cálculo do centro e do controle da carcaça baseados no centro da carcaça. Além, antes de cortar ao longo das bordas da carcaça, a lâmina cortando é alinhada primeiramente para o curso paralelo a e proximate a borda da carcaça, e um offset do alinhamento está fornecido à serra cortando programável lateralmente movendo a lâmina para o centro da carcaça antes de fazer um corte e de evitar os danos à lâmina e à carcaça essas tipicamente resultados quando a lâmina desliza ao longo da borda melhor que do corte da carcaça na carcaça. Além, conhecendo a posição do centro da carcaça, um corte arcuate pode exatamente ser feito na carcaça fazendo cortes retos múltiplos com uma rotação da carcaça sobre seu centro entre cada um cortado. Um afastamento da flange é monitorado medindo a exposição da lâmina depois que um número preselected dos cortes durante a carcaça que corta, e um afastamento mínimo da flange é permitido antes que o movimento da lâmina para a carcaça esteja parado automaticamente.

 
Web www.patentalert.com

< System and method for dicing semiconductor components

< Method of dicing semiconductor wafer

> Monitoring system for dicing saws

> Method and apparatus for securely holding a substrate during dicing

~ 00023