A vacuum processing apparatus includes a transfer chamber filled with a gas to have an upper limit of a target pressure range, a gas supply system connected to a gas supply source to supply the gas into the transfer chamber, a gas exhaust system for releasing the gas from within the transfer chamber, first and second vacuum chambers connected to the transfer chamber, first and second gate valves interposed between the transfer chamber and the vacuum chambers, which selectively permit the transfer chamber and the vacuum chambers to communicate with each other and a transfer mechanism for transferring a target object from the first vacuum chamber to the transfer chamber via the first gate valve and for transferring the target object from the transfer chamber to the second vacuum chamber via the second gate valve. An opening/closing valve is provided in the gas supply system for selectively supplying the gas from the gas supply source into the transfer chamber, a gas loading space being defined upstream of the opening/closing valve to permit the gas having a volume and pressure set in accordance with the upper limit of a target pressure range to be stored in the gas loading space when the opening/closing valve is closed.

Um vácuo que processa o instrumento inclui uma câmara de transferência enchida com um gás para ter um limite superior de uma escala da pressão do alvo, um sistema de fonte do gás conectado a uma fonte da fonte de gás para fornecer o gás na câmara de transferência, um sistema de exaustão do gás para liberar o gás dentro da câmara de transferência, primeiramente e as segundas câmaras do vácuo conectadas à câmara de transferência, primeiramente e às segundas válvulas de porta interposed entre a câmara de transferência e as câmaras do vácuo, que permitem seletivamente a câmara de transferência e as câmaras do vácuo se comunicar com se e um mecanismo de transferência para transferir um objeto do alvo da primeira câmara do vácuo à câmara de transferência através da primeira válvula de porta e para transferir o objeto do alvo da câmara de transferência à segunda câmara do vácuo através da segunda válvula de porta. Uma válvula de opening/closing está fornecida no sistema de fonte do gás seletivamente fornecendo o gás da fonte da fonte de gás na câmara de transferência, um espaço do carregamento do gás que está sendo definido rio acima da válvula de opening/closing para permitir o gás que tem um volume e uma pressão ajustados de acordo com o limite superior de uma escala da pressão do alvo a ser armazenada no espaço do carregamento do gás quando a válvula de opening/closing é closed.