A MEMS actuator is provided that produces significant forces and
displacements while consuming a reasonable amount of power. The MEMS
actuator includes a microelectronic substrate, spaced apart supports on
the substrate and a metallic arched beam extending between the spaced
apart supports. The MEMS actuator also includes a heater for heating the
arched beam to cause further arching of the beam. In order to effectively
transfer heat from the heater to the metallic arched beam, the metallic
arched beam extends over and is spaced, albeit slightly, from the heater.
As such, the MEMS actuator effectively converts the heat generated by the
heater into mechanical motion of the metallic arched beam. A family of
other MEMS devices, such as relays, switching arrays and valves, are also
provided that include one or more MEMS actuators in order to take
advantage of its efficient operating characteristics. In addition, a
method of fabricating a MEMS actuator is further provided.
Un actuador de MEMS es a condición de que produce fuerzas y dislocaciones significativas mientras que consume una cantidad razonable de energía. El actuador de MEMS incluye un substrato microelectrónico, ayudas separadas espaciadas en el substrato y una viga arqueada metálica que extiende entre las ayudas separadas espaciadas. El actuador de MEMS también incluye un calentador para calentar la viga arqueada para causar más lejos el arqueamiento de la viga. Para transferir con eficacia calor del calentador a la viga arqueada metálica, la viga arqueada metálica extiende encima y se espacia, no obstante levemente, del calentador. Como tal, el actuador de MEMS convierte con eficacia el calor generado por el calentador en el movimiento mecánico de la viga arqueada metálica. Una familia de otros dispositivos de MEMS, tales como relais, órdenes que cambian y válvulas, está también a condición de que incluya unos o más actuadores de MEMS para aprovecharse de sus características de funcionamiento eficientes. Además, un método de fabricar un actuador de MEMS se proporciona más a fondo.
