The invention relates, in one embodiment, to an arrangement configured to support a substrate during a dicing process. The substrate has thereon a first substrate side and a second substrate side. The first substrate side is smoother than the second substrate side. The arrangement includes a nest having a first nest side and a second nest side. The nest includes a grid which defines at least one nest opening. The nest opening has an opening area that is smaller than an area of a die diced from the substrate. The arrangement further includes a vacuum retainer plate having thereon at least one vacuum pedestal. The vacuum pedestal has an upper surface formed of a resilient material. The vacuum pedestal is configured to be disposed through the nest opening when the nest is mated with the vacuum retainer plate. The vacuum pedestal protrudes above the first nest side of the nest when the vacuum pedestal is disposed through the nest opening from the second nest side to support the substrate on the upper surface and lift the substrate off the first nest side when the substrate is positioned on the nest with the first substrate side facing the first nest side and when the nest is mated with the vacuum retainer plate.

La invención se relaciona, en una encarnación, con un arreglo configurado para apoyar un substrato durante un proceso que corta en cubitos. El substrato tiene sobre eso un primer lado del substrato y un segundo lado del substrato. El primer lado del substrato es más liso que el segundo lado del substrato. El arreglo incluye una jerarquía que tiene un primer lado de la jerarquía y un segundo lado de la jerarquía. La jerarquía incluye una rejilla que defina por lo menos una abertura de la jerarquía. La abertura de la jerarquía tiene un área de abertura que sea más pequeña que un área de un dado cortado en cubitos del substrato. El arreglo más futuro incluye una placa del detenedor del vacío que tiene sobre eso por lo menos un pedestal del vacío. El pedestal del vacío tiene una superficie superior formada de un material resistente. El pedestal del vacío se configura para ser dispuesto con la abertura de la jerarquía cuando la jerarquía se acopla con la placa del detenedor del vacío. El pedestal del vacío resalta sobre el primer lado de la jerarquía de la jerarquía cuando el pedestal del vacío se dispone con la abertura de la jerarquía del segundo lado de la jerarquía para apoyar el substrato en la superficie superior y para levantar el substrato del primer lado de la jerarquía cuando el substrato se coloca en la jerarquía con los revestimientos laterales del primer substrato el primer lado de la jerarquía y cuando la jerarquía se acopla con la placa del detenedor del vacío.

 
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