A method for making silicon oxynitride comprising providing a vaporous gas stream of a compound selected from the group consisting of silazanes and siloxazanes. An enclosed, heated reaction site is also provided. The vaporous gas stream is delivered to the enclosed, heated reaction site in which the levels of oxygen are strictly controlled to promote the formation of silicon oxynitride particles.

Μια μέθοδος για oxynitride πυριτίου περιλαμβάνοντας παρέχοντας ένα vaporous αέριο ρεύμα μιας ένωσης που επιλέγεται από την ομάδα που αποτελείται από τα silazanes και siloxazanes. Μια εσωκλειόμενη, θερμαμένη περιοχή αντίδρασης παρέχεται επίσης. Το vaporous αέριο ρεύμα παραδίδεται στην εσωκλειόμενη, θερμαμένη περιοχή αντίδρασης στην οποία τα επίπεδα οξυγόνου ελέγχονται αυστηρά για να προωθήσουν το σχηματισμό oxynitride πυριτίου των μορίων.