A mass sensor includes a diaphragm, a sensing plate having a piezoelectric element arranged on at least a part of at least one surface joining respective sides, a connecting plate sandwiched by the diaphragm and the sensing plate, wherein the diaphragm, the sensing plate, the piezoelectric element, and the connecting plate form a resonating portion. The connecting plate is bridged across the side surfaces of a concave portion formed in a sensor substrate, and the sensing plate is joined to at least the bottom portion of the concave portion. Change in the mass of the diaphragm is measured by measuring change in the resonant frequencies of the resonating portion accompanying the change in the mass of the diaphragm. The mass sensor enables the easy and accurate measurement of a minute mass of a nanogram order including microorganisms such as bacteria and viruses, or chemical substances, or the thickness of vapor-deposited films.

Une sonde de masse inclut un diaphragme, un plat de sensation ayant un élément piézoélectrique disposé sur au moins une partie au moins d'une surface joignant les côtés respectifs, un plat se reliant serré par le diaphragme et le plat de sensation, où le diaphragme, le plat de sensation, l'élément piézoélectrique, et la forme se reliante de plat par partie résonnante. Le plat se reliant pont à travers les surfaces latérales d'une partie concave formée dans un substrat de sonde, et le plat de sensation est joint au moins à la partie inférieure de la partie concave. Le changement de la masse du diaphragme est mesuré en mesurant le changement des fréquences de résonance de la partie résonnante accompagnant le changement de la masse du diaphragme. La sonde de masse permet mesure facile et précise d'une masse minutieuse d'un ordre de nanogram comprenant des micro-organismes tels que des bactéries et des virus, ou les substances chimiques, ou l'épaisseur des films vapeur-déposés.