A light measuring device includes an integration-type light measuring sensor having a plurality of pixels and arranged to logarithmically compress a signal of light received by each pixel and to output the signal as a light measurement value for each pixel, a memory arranged to store an average of gain correction values for all pixels of the light measuring sensor, a deviation from the average of gain correction values obtained for each pixel of the light measuring sensor, a level correction value for each pixel of the light measuring sensor obtained for a reference integration period, and an average of level shift amounts of all pixels of the light measuring sensor caused by a change of integration period, and a computing circuit arranged to compute, from the level correction value for each pixel and the average of level shift amounts of all pixels stored in the memory, a level correction value for each pixel of the light measuring sensor for an integration period other than the reference integration period.

Een licht meetinstrument omvat een integratie-type lichte metende sensor die een meerderheid van pixel heeft en geschikt om een signaal van licht logaritmisch samen te persen dat door elk pixel en aan output het signaal als lichte metingswaarde wordt voor elk pixel, een geheugen dat wordt geschikt ontvangen om een gemiddelde waarden van de aanwinstencorrectie voor alle pixel van de lichte metende sensor op te slaan, een afwijking van het gemiddelde waarden van de aanwinstencorrectie die voor elk pixel van de lichte metende sensor worden verkregen, een waarde van de niveaucorrectie voor elk pixel van de lichte metende sensor die voor een periode van de verwijzingsintegratie wordt verkregen, en een gemiddelde hoeveelheden van de niveauverschuiving alle pixel van de lichte metende sensor die door een verandering van integratie wordt veroorzaakt ues for all pixels of the light measuring sensor, a deviation from the average of gain correction values obtained for each pixel of the light measuring sensor, a level correction value for each pixel of the light measuring sensor obtained for a reference integration period, and an average of level shift amounts of all pixels of the light measuring sensor caused by a change of integration period, and a de gegevensverwerkings kring schikte om, van de waarde van de niveaucorrectie voor elk pixel en het gemiddelde hoeveelheden van de niveauverschuiving alle pixel gegevens te verwerken die in het geheugen, een waarde van de niveaucorrectie voor elk pixel van de lichte metende sensor voor een integratieperiode worden opgeslagen buiten de periode van de verwijzingsintegratie.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Process for maintaining a semiconductor substrate layer deposition equipment chamber in a preconditioned and low particulate state

> Casket and method of manufacture

> (none)

~ 00021