Automatic alignment methods for a membrane prober are disclosed. Alignment patterns are designed and manufactured on both a membrane prober and a wafer under test. The patterns are properly designed for acquiring a first set of measurement data that provide relative position information when the prober contacts the wafer. A second set of measurement data can be obtained by a controlled move between the prober and the wafer. The relative position including the translation offset and the rotation angle can be computed by the information derived from the two sets of measurement data. The second set of measurement data may also be acquired by having two alignment pattern pairs that are made to contact in a single touch. More accurate aligrnent can be achieved by using more pairs of alignment patterns.

Automatische Ausrichtung Methoden für ein Membrane Sondiergerät werden freigegeben. Ausrichtung Muster sind auf einem Membrane Sondiergerät und einer Oblate unter Test entworfen und hergestellt. Die Muster sind richtig für das Erwerben eines ersten Satzes Maßdaten bestimmt, die relative Position Informationen liefern, wenn das Sondiergerät mit der Oblate in Verbindung tritt. Ein zweiter Satz Maßdaten kann durch eine kontrollierte Bewegung zwischen dem Sondiergerät und der Oblate erhalten werden. Die relative Position einschließlich den Übersetzung Versatz und den Umdrehung Winkel kann durch die Informationen berechnet werden, die von den zwei Sätzen von Maßdaten abgeleitet werden. Der zweite Satz von Maßdaten kann indem man zwei Ausrichtung Musterpaare auch erworben werden hat, die gebildet werden, um in einer einzelnen Note in Verbindung zu treten. Genaueres aligrnent kann erzielt werden, indem man mehr Paare Ausrichtung Muster verwendet.