Apparatus and method to measure the characteristics of the substantially periodic motion of a mechanical system. A non-intrusive technique measures such motion by analyzing images of a movable component of the system without requiring a motion sensor built into the system. If the system includes a motion sensor, the present invention can calibrate it. The present invention applies to an object of any length scale if it can be imaged. The amplitude of a component's motion is obtained from a single, time-exposed image while the system is in periodic motion and a reference image made with the component at rest. The technique, implemented as one component of an automated test-bed apparatus, is significantly faster than the prior art. The present invention is especially efficient in characterizing the mechanical performance of MEMS. Speed facilitates both hands-on testing of prototypes and testing in production environments. Results from the present invention applied to a microfabricated resonator are compared with electrical measurements derived from an integrated comb-drive. Benchmark comparisons demonstrate that the present invention delivers comparable results in shorter times with simpler, less expensive apparatus than the prior art. The present invention removes any upper limit on the frequency of motions that can be analyzed.

Прибор и метод для того чтобы измерить характеристики существенн периодического движения механически системы. Нон-intruzivny1 метод измеряет такое движение путем анализировать изображения подвижного компонента системы без требовать датчика движения построенного в систему. Если система вклюает датчик движения, то присытствыющий вымысел может откалибрировать его. Присытствыющий вымысел применяется к предмету любого маштаба длины если он может быть imaged. Амплитуда движения компонента получена от одиночного, котор врем-podverglo действию изображения пока система находится в периодическом движении и изображении справки сделанном с компонентом на остальных. Метод, снабженный как один компонент автоматизированного прибора test-bed, значительно быстре чем прежнее искусствоо. Присытствыющий вымысел специально эффективн в характеризовать механически представление MEMS. Скорость облегчает и hands-on испытывать прототипов и испытывать в окружающих средах продукции. Результаты от присытствыющего вымысла приложенного к а microfabricated резонатор сравнены при электрические измерения выведенные от интегрированное гребн-upravl4ht. Сравнения отметки уровня демонстрируют что присытствыющий вымысел поставляет сравнимые результаты в короткийа срок с более просто, более менее дорогими приборами чем прежнее искусствоо. Присытствыющий вымысел извлекает любой верхний предел на частоте движений можно проанализировать.