A mask pellicle removal apparatus for separating a mask pellicle from a glass reticle to which it is bonded by prying against its releasable bond. The apparatus includes a table support for nesting the glass reticle and for supporting a manually operated prying mechanism having only the necessary degrees of freedom for prying free the mask pellicle without damaging the glass reticle.

Un appareillage d'enlèvement de pellicle de masque pour séparer un pellicle de masque d'un réticule de verre sur lequel il est collé par le soulèvement contre sa obligation releasable. L'appareil inclut un soutien de table pour nicher le réticule de verre et de soutenir un mécanisme de soulèvement manuel ayant seulement les degrés de liberté nécessaires pour soulever librement le pellicle de masque sans endommager le réticule de verre.

 
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