A method for measuring chemical analytes and physical forces by measuring changes in the deflection of a microelectromechanical cantilever structure while it is being irradiated by a light having an energy above the band gap of the structure.

Un método para medir los analytes químicos y las fuerzas físicas midiendo cambia en la desviación de una estructura voladiza microelectromechanical mientras que está siendo irradiado por una luz que tiene una energía sobre el boquete de la venda de la estructura.