Resistor networks, digital potentiometers and microelectromechanical structures that include a plurality of resistors selectable by a plurality of microelectromechanical actuators are provided. More particularly, a thermal relay type of actuator is provided as a switch which may selectively control which of the plurality of resistors is connected. In one particularly advantageous embodiment, the heater for the thermal relay and the plurality of resistors are formed from a common layer of the integrated circuit structure, such as a doped polysilicon layer, which may simplify the manufacturing process. Preferably, a thermal arched beam actuator is utilized in combination with film resistors to provide an integrated circuit device suitable for applications such as digital potentiometers.

Τα δίκτυα αντιστατών, τα ψηφιακά ποτενσιόμετρα και οι microelectromechanical δομές που περιλαμβάνουν μια πολλαπλότητα των αντιστατών επιλέξιμων από μια πολλαπλότητα των microelectromechanical ενεργοποιητών παρέχονται. Ειδικότερα, ένας θερμικός τύπος ηλεκτρονόμων ενεργοποιητή παρέχεται ως διακόπτης που μπορεί επιλεκτικά να ελέγξει που της πολλαπλότητας των αντιστατών συνδέεται. Σε μια ιδιαίτερα συμφέρουσα ενσωμάτωση, η θερμάστρα για το θερμικό ηλεκτρονόμο και η πολλαπλότητα των αντιστατών διαμορφώνονται από ένα κοινό στρώμα της δομής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπως ένα ναρκωμένο στρώμα πολυπυρίτιων, το οποίο μπορεί να απλοποιήσει τη διαδικασία κατασκευής. Κατά προτίμηση, ένας θερμικός σχηματισμένος αψίδα ενεργοποιητής ακτίνων χρησιμοποιείται σε συνδυασμό με τους αντιστάτες ταινιών για να παρέχει μια συσκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων κατάλληλη για τις εφαρμογές όπως τα ψηφιακά ποτενσιόμετρα.