A semiconductor plating bowl which includes a shield on a consumable anode. The shield is preferably made from a dielectric material, such as a plastic. The shield is placed in the area upon which flowing plating fluid would otherwise impinge upon the processing workpiece. The shield has the surprising benefit of reducing the amount of organic additives consumed in the plating process. This is believed to occur because films that otherwise may form on the anode are not disrupted by the flow of plating liquids thereover.

Bowl плакировкой полупроводника вклюает экран на потребляемом аноде. Экран предпочтительн сделан от диэлектрического материала, such as пластмасса. Экран помещен в области на пропуская жидкость плакировкой в противном случае impinge на обрабатывая workpiece. Экран имеет удивляя преимущество уменьшения количества органических уничтоженных добавок в процессе плакировкой. Это поверены, что происходит потому что пленки в противном случае могут сформировать на аноде не нарушены подачей thereover жидкостей плакировкой.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Methods and apparatus for processing the surface of a microelectronic workpiece

> Motor drive assembly for a semiconductor wafer processing system

> (none)

~ 00019