Fused silica stepper lens for photolithographic application are disclosed which are resistant to laser-induced damage, specifically, compaction or densification which can lead to an increase in the optical path length of the lens. The figure compares the phase front distortions of a standard fused silica with the phase front distortions observed in two inventive stepper lens fused silica.

On révèle l'objectif de pas fondu de silice pour l'application photolithographic qui sont résistants aux dommages laser-induits, spécifiquement, au tassement ou au densification qui peuvent mener à une augmentation de la longueur de chemin optique de l'objectif. La figure compare les déformations d'avant de phase d'une silice fondue standard aux déformations d'avant de phase observées en silice deux fondue par objectif de pas inventif.